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平台简介

南京原子制造研究所微纳加工与测试平台聚焦于晶圆级原子器件制造,配备国际一流微纳加工与测试设备,形成全链条技术能力。平台具备先进电子束光刻、紫外光刻、电子束蒸镀、超快电镜、高频皮秒级任意波形发生器、低温探针台等加工、检测与测试设备,以及专业的技术团队,是晶圆级流片、器件开发与产业化的良好平台。


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